为评估高精度加工质量,需要更高精度的测量技术支撑。GL.topo是一种用于表面形貌检测的光学测量系统,可可靠检测激光加工中典型的微细结构与薄膜层。该模块基于共焦色散传感器实现测量,轴向分辨率达纳米级,每秒可完成数千次测量。GL.topo完全集成于设备系统中,通过GL.control软件进行操作,可用于零部件质量检测、仿形加工数据采集及余量分析。
・测量原理:共焦色散传感器
・工作距离:21 mm
・量程:1 mm
・测量频率:10 kHz
・光斑直径:4 µm
・数值孔径:0.7
・系统集成:全集成于控制器与软件
・滤波功能:高通滤波/强度滤波
・扩展接口:最多5路编码器输入